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采用國(guó)際領(lǐng)先的全鋁技術(shù)，極佳的剛性/質(zhì)量比，保證機(jī)器的高性能和高精度。

X向橫梁采用超高精密三角梁技術(shù)，相比矩形橫梁，重心更低，質(zhì)量比剛性比最佳，運(yùn)動(dòng)更加可靠，該領(lǐng)先技術(shù)收到專利保護(hù)。

Y軸采用整體燕尾式導(dǎo)軌，調(diào)高了測(cè)量精度和穩(wěn)定性。

Z向采取獲得了專利的氣動(dòng)平衡技術(shù)，采用柔性懸掛系統(tǒng)，避免了軸向運(yùn)動(dòng)和傳動(dòng)質(zhì)檢的 干涉問(wèn)題，提高了測(cè)量機(jī)的競(jìng)速和長(zhǎng)期穩(wěn)定性。

三軸均采用高精度德國(guó)HEIDENHAIN光柵尺，系統(tǒng)分辨率可打0.078μm，同時(shí)采用 一端固定，一端自由伸縮的方式安裝，減少了光柵尺的變形，保證在溫度變化時(shí)的線性伸縮。

各運(yùn)動(dòng)軸均采用直流伺服驅(qū)動(dòng)+增強(qiáng)型同步帶，確保運(yùn)動(dòng)的平穩(wěn)和準(zhǔn)確定位。

采用?？怂箍禐镃roma專業(yè)打造的IDC-1控制系統(tǒng)，21項(xiàng)誤差空間修正技術(shù)和自動(dòng)   調(diào)譜功能，保證了機(jī)器的動(dòng)態(tài)性能和測(cè)量精度。